主动消磁系统

产品名称：主动消磁系统

1.产品型号：SC20

2.品    牌：英国Spicer Consulting

3.产    地：英国

参数：

1.通过稳定磁场环境确保您购置的电子束科技设备应有性能

2.消除和监测交直流磁场

3.简单的“一劳永逸"式操作，连续实时补偿磁场

4.磁场跃变响应速度：100 μs以内

5.交流或直流磁场传感器

6.消磁器动态工作范围为（X & Y轴） 为<=40 mG （4 μT ） pk-pk, Z -轴为<=30mG （3.0μT） pk-pk

7.交流磁场可消除范围：0.5 Hz to 5 kHz；市电50 Hz（典型）的交流背景磁场可被改善75倍

8.直流磁场可消除范围：DC to 5 kHz；直流背景磁场可被改善200倍

9.完整的X, Y, Z三轴消磁系统

10.可消除场强高达80 mG （8.0 μT） pk-pk

11.消磁器显示系统需为数字LCD 显示面板,其参数设定及操作皆可透过面板按钮作控制及切换

12.高灵敏度传感器，可精确反馈环境磁场变化；支持多路传感器，用于抵消TEM透射电•镜和CD关键尺寸电子束显微在线检测设备的环境磁场

网络监控（选项）

本设备为免校正仪器,其内部的自我归零功能会自动校正

主动消磁系统特点：

1.当今高精电子束设备对环境磁场及其动态变化是非常敏感的。环境磁场使电子束产生偏移，从而导致设备分辨率和测量精度的减低。

2.SC20系统由磁场控制单元、一两个交流或直流磁场传感器以及装在待消磁房间里的三根多芯电缆（三维空间线圈）组成，是一种三维的交直流磁场补偿系统。

3.传感器测量空间环境中交直流磁场及其变化量，磁场控制单元以实时负反馈环路控制方式调节三个线圈中的电流来创建一个与环境磁场变化相反的磁场信号，抵消环境磁场给电子束设备带来的影响，恢复设备应有的分辨率和精度。

4.这是一个动态系统，对磁场跃变自动响应的速度在100微秒以内。

市电（50/60 Hz）频率的交流背景磁场可被消除至75分之一；直流背景磁场可被消除至200分之一。