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X射线光电子能谱仪主要介绍2仪器类别编辑 03030707 /仪器仪表 /成份分析仪器 指标信息: 主真空室:1×10-10 Torr XPS:0.5eV, AES: 分辨率:0.4%,

更新时间:2015-07-28点击次数:638
 XPS:固体样品的表面组成分析,化学状态分析,取样讯息深度为~10nm以内. 功能包括:
1. 表面定性与定量分析. 可得到小於10um 空间分辨率的X射线光电子能谱的全谱资讯.
2. 维持10um以下的空间分辨率元素成分包括化学态的深度分析(角分辨方式,,氩离子或团簇离子刻蚀方式)
3. 线扫瞄或面扫瞄以得到线或面上的元素或化学态分布.
4. 成像功能.
5. 可进行样品的原位处理 AES:1.可进行样品表面的微区选点分析(包括点分析,线分析和面分析) 2.可进行深度分析适合: 纳米薄膜材料,微电子材料,催化剂,摩擦化学,高分子材料的表面和界面研究
仪器类别编辑
03030707 /仪器仪表 /成份分析仪器
指标信息: 主真空室:1×10-10 Torr XPS:0.5eV, AES: 分辨率:0.4%, 电子枪束斑:75nm , 灵敏度:1Mcps信噪比:大于70:1 角分辨:5°~90°. A1/Mg双阳极靶 能量分辨率:0.5eV ,灵敏度:255KCPS, 使用多通道检测器(MCD)

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