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隔振平台分类及原理(减振平台、电镜减振台)
——理化phychemi
一、分类
隔振技术分为主动隔振和被动隔振
主动隔振:通过传感器和执行器,提供大小相等,方向相反的力,抵消振动对目标的影响
被动隔振:通过机械装置限制振动
无源隔振:使用弹簧,弹性体,流体,或负刚度组件实现减振
有源隔振:使用气动系统实现。
二、隔振原理
(1)被动隔振技术 -- 弹簧
一个zui简单的无源隔离器。弹簧反作用于被减振物体,通过变形来吸收一定的能量。一个简单的例子就是汽车减振器,在这种情况下,冲击或振动产生机械能,被转换为热能,热能被浸泡弹簧的油吸收,从而减少传递到车身上振动。
其固有频率可以做到很低,但是阻尼很小。优点是扰动源频率和系统固有频率差很远时,隔振效果非常好。缺点就是一旦共振放大很严重。
(2)被动隔振技术 – 橡胶
橡胶也是通过变形来吸收振动。与弹簧的区别是,橡胶能在各个方向吸收。
(3)被动隔振技术 –气动平台
气动系统采用压缩空气活塞,吸收地面的振动。其缺点是结构与操作复杂,需要外部气源的支持。
(4)被动隔振技术 –负刚度技术
负刚度隔振台提供一个简单,可靠,隔振解决方案,可提供6自由度的隔离,低至0.5 Hz或更低的谐振频率。对于一个0.5赫兹系统,可隔离1Hz以上的振动,优于气动平台5-10Hz的范围可让多个隔振台一起使用。负载从几十公斤到几吨。易于使用和调整。比气动平台经济,占用更少的空间,且不需要进行维护。
三、隔振设备种类
(1)Minus K BM-10 超薄
(2) Minus K BM-6 经济型
规格:
18" W x 20" D x 4.6" H
(457mm W x 508mm D x 117mm H)
有效负载范围:10-105 lbs (4.5 - 48 kg)
水平:2.5Hz 垂直:1.5Hz
真空和洁净室适用
(3)隔振工作站
具有超低固有频率的简洁被动隔振光学台,
更高的内部结构频率和的垂直和水平隔震动效率
四、隔振效果
五、应用领域
理化MinusK隔振平台在显微镜微观领域(显微镜(SPM),扫描电镜(SEM),原子力显微镜(AFM等))、光学领域、生物学领域、微观硬度测试、分析天平中的应用、音频回放、唱片与唱机中的应用、真空系统中的应用、航天航空等领域应用广泛。